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設備名　：　精密断面試料作製装置

メーカ 型式 日本電子(株) IB-19520CCP

仕様 内容 加速電圧：2〜8kV ミリングスピード：500μm/h（加速電圧：8kV、Si換算） 間欠加工モード：イオンビーム照射・停止時間を設定可能 試料ステージ冷却温度：-120〜0℃ 平面ミリング可能 アルゴンイオンビーム照射による精密な断面作製

導入年度 利用料 担当部門 担当部 用途 備考 予約状況 2018 ---- 材料 材料化学 依頼試験　研究・相談 内閣府「平成30年度地方創生推進交付金」により設置 ----

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