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設備名　：　集束イオンビーム加工観察装置

メーカ 型式 日本電子(株) JIB-4000

仕様 内容 イオン源：ガリウム液体金属 加速電圧：1〜30kV 最大電流：60nA 像分解能：5nm（30kV） デポジション：カーボン、タングステン 微細加工による断面構造観察

導入年度 利用料 担当部門 担当部 用途 備考 予約状況 2017 ---- 材料 金属材料 依頼試験　研究・相談 経済産業省「平成28年度地域新成長産業創出促進事業（地域未来投資の活性化のための基盤強化事業）」により設置 ----

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