保有設備　詳細表示

設備名　：　光干渉顕微鏡

メーカ 型式 ZYGO社 NewView7300

仕様 内容 垂直分解能：0.1nm以下 垂直走査範囲：20mm以下 光干渉による表面形状の測定及び粗さ測定

導入年度 利用料 担当部門 担当部 用途 備考 予約状況 2011 4400 円／時間 材料 金属材料 依頼試験　設備利用　研究・相談 H23 JKA補助 ----

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