<測定範囲> 画像ヘッド:300×200×H200mm レーザプローブ:180×200×H200mm <測定精度(L:測定長さ)> 画像 平面(E1x,y) :(1.5+3L/1000)μm 画像 高さ(E1z) :(1.5+4L/1000)μm レーザ 平面(E1x,y) :(1.5+4L/1000)μm 画像 平面(E2xy) :(2.0+4L/1000)μm | <測定項目> 画像ヘッド:点測定、円測定、線測定、面測定、角度、距離、交点など レーザセンサ:疑似面粗さ、疑似面うねり、段差測定、形状測定など |