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設備名　：　超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡

メーカ 型式 (株)日立ハイテクノロジーズ S-5200

仕様 内容 最高分解能：0.5nm 加速電圧：0.5〜30kV SEM、EDAX分析、走査透過像、YAG反射電子像 超高倍率における表面観察・分析評価

導入年度 利用料 担当部門 担当部 用途 備考 予約状況 2003 ---- 材料 金属材料 依頼試験　研究・相談 地域産業集積活性化対策事業補助金 の一部として導入 ----

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