材料技術部門の保有設備



 区分 : 寸法・形状精密測定機器
 ・名称をクリックすると詳細データが表示されます。
 ・予約状況欄の”表示”の文字をクリックすると該当機器の予約状況が表示されます
 ・企業の利用等が比較的多い設備について予約状況を表示しています。
利用される場合はお手数ですが、予約状況の表示の有無に関わらず必ず該当部門に電話で問い合わせてください。
名称内容仕様予約
状況
CNC三次元測定機製品、機械加工部品の空間的寸法位置の精密測定測定範囲:800×1000×600mm
最小表示値:0.5μm
測定精度:U1(3+L/250)μm
 
レーザ測定システム工作機械、測定機等の移動寸法精度検査分解能:0.01μm
測定範囲:最大40m
応答速度:±40/Sec
移動量、速度、角度測定機能
 
画像プローブ式三次元測定機測定対象に縞模様を投影し、これを撮影した画像から表面の三次元形状を測定する「パターン投影法」による装置を用いた高密度・高精度測定カメラ画素数:約400万画素(2048×2048)
測定範囲:80×80×60mm または 380×380×250mm
測定精度:±0.008mm、±0.025mm
 
形状測定機機械部品の形状測定
表面あらさの測定
指示精度:±2μm
測定範囲:X軸 200 Z軸 50
 
原子間力顕微鏡微細表面形状の高倍率測定垂直分解能:0.01nm
水平分解能:0.5nm
最大試料サイズ:φ200mm、t12mm
 
光干渉顕微鏡光干渉による表面形状の測定及び粗さ測定垂直分解能:0.1nm以下
垂直走査範囲:20mm以下
 
工具顕微測定器加工部品、工具等の寸法、形状を顕微鏡を用いて、2次元的に高精度で測定する。測定範囲:170×75×138
顕微鏡倍率:30,50,100倍
測定精度:(1.5+0.01L)μm
データ処理装置
 
高精度輪郭測定装置(形状測定)形状の測定測定範囲:400×400×200mm
測定精度:スキャニング1.9+L/250 (μm)
     画像測定  1.9+L/250 (μm)
     非接触高さ 2.2+L/250 (μm)
 
高精度輪郭測定装置(三次元表面粗さ測定)表面性状の測定測定範囲:100×100×100mm
斜面測定:80 度まで
対応規格:ISO-25178
 
真円度測定機円形加工部品の真円度、同心度、同軸度測定測定倍率:×100〜×20,000
真円度、真直度、平面度、直角度測定用
 
非接触表面性状評価装置<測定項目>
画像ヘッド:点測定、円測定、線測定、面測定、角度、距離、交点など
レーザセンサ:疑似面粗さ、疑似面うねり、段差測定、形状測定など
<測定範囲>
画像ヘッド:300×200×H200mm
レーザプローブ:180×200×H200mm
<測定精度(L:測定長さ)>
画像 平面(E1x,y) :(1.5+3L/1000)μm
画像 高さ(E1z) :(1.5+4L/1000)μm
レーザ 平面(E1x,y) :(1.5+4L/1000)μm
画像 平面(E2xy) :(2.0+4L/1000)μm
 

 



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