膜厚測定装置

名 称  膜厚測定装置

製造会社名

 (株)アルバック


   (装置本体部)

(前処理加工機) 切断機       研磨機           

型   式

 Dektak 8型

所   属

 電子部

設置場所

 半導体薄膜研究室
(前処理加工機:材料準備試験室)

備   考

 平成18年度日本自転車振興会事業の競輪の補助金で導入。(事業の概要:pdfファイル)

仕   様

 触針式
 触針圧:1〜15mg 
 段差測定再現性:10Å(1σ)以下
 多点自動測定、三次元表示可能


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