レーザーアブレーション質量分析装置


1.名 称  レーザーアブレーション質量分析装置

製造会社名

 セイコーインスツルメンツ(株)

レーザーアブレーション質量分析装置概観

型   式

 SPQ9200

所   属

 化学部

設置場所

 高感度分析研究室

備   考

 平成12年度地域産業集積活性化事業にて導入。

2.概 要

機   能

 本装置は、微小部分にレーザー光を照射し、蒸発気化させて試料を質量分析部に導入して、元素の質量を測定することにより化学成分の構成や濃度を分析することができます。測定濃度範囲が広く、数%の主成分からppt(=10-10%)まで分析でき、水溶液や有機溶剤など液体試料の元素分析も行えます。

仕   様

・レーザー波長   266nm        ・照射範囲  直径10μm以上
・サンプル寸法   直径50mm以下     ・イオン源  高周波誘導結合プラズマ
・測定質量数範囲  3〜260amu     ・分析元素   Li〜Uの72元素

原   理

 レーザーアブレーションにより導入された試料は、アルゴンプラズマ中でイオン化され不要な光や中性粒子を除かれ、イオンレンズで集束された後、四重極質量分析計で質量ごとに分別され検出器で計数されます。検出はイオン1個の単位で行うため、非常に高感度な元素分析ができます。
 溶液を霧化して導入するすることもでき、固体試料・液体試料ともに分析可能です。またリチウムからウランまでの72元素が測定でき、多元素同時分析が可能であることと、主成分から極微量まで分析濃度範囲が広いことが特徴です。

レーザーアブレーション質量分析装置原理

3.利用分野

依   頼

 定性分析・定量分析(プラズマ発光分析装置・プラズマ質量分析装置によるもの)

貸   付

 

研   究

 多層電子部品の構造解析方法に関する研究


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