高精度長さ標準校正装置


1.名 称  高精度長さ標準校正装置

製造会社名

 (株)ミツトヨ

高精度長さ標準校正装置概観

型   式

 GBI(特別仕様)

所   属

 測定部

設置場所

 長さ標準測定室

備   考

 平成12年度地域産業集積活性化事業にて導入。

2.概 要

機   能

 ブロックゲージ等の高精度端度器の寸法を、長さの実用最高標準であるHe-Neレーザの波長を基準にして高精度に測定します。ほぼ完全な自動測定と、複数試料の連続測定により、高精度な測定を迅速に行います。

仕   様

 最大測定長 250mm
 測定精度  0.04μm
 連続測定数 12個

原   理

 接眼部には下左図のような干渉縞(光波の重ね合わせによる縞模様/シャボン玉の模様も同じ)が見え、ε:λ(比率)を測定する。λを光の波長とするとブロックゲージの寸法は、未知の整数と干渉縞端数εを使って次式で得られる。
    L=nλ+ελ
 複数の波長λを用いると、nとεは変化するが、寸法Lは同じである。nは整数であり、Lの概略値は呼び寸法としてわかっているから、ここからnを推定し、寸法Lを求める。
高精度長さ標準校正装置概観原理

3.利用分野

依   頼

 ブロックゲージ等の高精度端度器の寸法測定(絶対測定)

貸   付

 

研   究

 


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