1.名 称  超微小硬度測定装置

製造会社名

 (株)エリオニクス

超微小硬度測定装置外観図

型   式

 ENT-1100a

所   属

 測定部

設置場所

 超精密技術開発試験室

備   考 

 平成11年度地域産業集積活性化事業にて導入。

2.概 要

機   能

 超微小硬度測定装置は、マイクロビッカース硬さ試験機に比べて負荷荷重が小さいため、薄膜・表面等の硬さの測定ができます。金属、セラミックス、プラスチック等多くの材料の測定ができます。また、弾性率等の硬さ以外の力学特性の評価も可能です。

仕   様

 荷重範囲       0.098〜980mN 、最小荷重ステップ 20nN
 押し込み深さ測定範囲 0〜20μm    、深さ測定分解能  0.3nm
 最大試料サイズ    φ50×5mm
 試料台移動量     X、Y=50mm、Z=5mm 、測定位置決め精度 ±2μm(X、Y)
 使用可能圧子     三角錐圧子(稜間角115°)、四角錐圧子(ビッカース圧子)

原   理

・荷重負荷装置:電磁アクチュエータ・・・微小荷重の制御
・圧子変位測定装置:静電容量変位計・・・押し込み深さの測定

 圧子を試料へ押し込んだときの、圧子への負荷荷重と押し込み深さを負荷時、除荷時にわたり連続的に測定することにより、負荷荷重−押し込み深さ曲線が得られます。この曲線から硬さ・弾性率等のデータを得ることができます。また、CCDカメラによるくぼみの観察も可能です。 

超微小硬度測定装置原理図1超微小硬度測定装置原理図2

3.利用分野

依   頼

 材料強度試験・硬度試験・超微小押込み

貸   付

 

研   究

 薄膜・極表面層等の機械的性質の評価

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