超精密複合マイクロ加工機



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1.名 称  超精密複合マイクロ加工機

製造会社名 

 ファナック(株)

超精密複合マイクロ加工機外観図

型  式

 ROBOnano Ui

所  属

 加工部

設置場所

 506室

備  考 

 平成11年度地域産業集積活性化事業にて導入。

2.概 要

機  能

 全空気静圧構造とナノスケール、そして多軸同時制御により、マイクロ3次元形状部品を超精密切削・研削加工することができます。半導体技術では製造が困難な自由形状を持ったレンズ、金型、マイクロ部品などを作ることができます。

仕  様

 同時制御軸数    5軸(X,Y,Z,B,C軸)
 最大加工寸法(5軸)  100×100×10mm
    〃   (旋削) φ240mm
 分解能       1nm
 主軸振れ      0.05μm
 プログラミング   CAD/CAM、NC
 機上計測装置    有(補正加工機能付き)

原  理

 ・空気静圧構造の滑らかな案内機構(サーボモータおよび送りねじ部、スライド面)
 ・空気静圧構造の高精度な主軸 
 ・1nmスケール・フィードバックを用いた正確な位置決め
 ・5軸同時制御による立体的な動き
により、超微細な3次元形状を超精密に加工します。

超精密複合マイクロ加工機原理図1

     サーボモータおよび送りねじ

超精密複合マイクロ加工機原理図2

主  軸

超精密複合マイクロ加工機原理図3

軸 構 成

3.利用分野

試作加工

 超精密複合マイクロ加工機

貸  付

 

 

研  究

 機械加工によるマイクロ部品の加工、光学部品の開発