極微小領域解析装置


1.名 称  極微小領域解析装置

製造会社名 

 日本電子(株)

極微小領域解析装置概観

型   式

 JXA−8800RL

所   属

 化学部

設置場所

 ビームアナリシス研究室

備   考 

 平成10年度地域産業集積活性化事業にて導入。

2.概 要

機   能

 固体試料表面の極微小領域に存在する元素の種類や濃度、分布を測定することができる。
 腐食原因の調査、断線・導通不良・短絡、動作不良等の故障解析に応用できる。また、機能膜、多層膜、センサー等微小部品の開発や金属核酸現象の解明に利用できる。

仕   様

 分析元素 ほう素〜ウラン(B〜U)
 X線分光基数 5
 分解能  2次電子像 6nm
 走査倍率 40〜300,000倍
 加速電圧 最大40KV
 試料寸法 最大100×100×50mm
 最大分析段差 7mm

原   理

  試料に電子線を照射すると、X線、二次電子、反射電子などが飛び出してくる。これらを検出し、解析することで、極微小領域の凹凸像、組成像、元素の種類や量に関する情報を得ることができる。

極微小領域解析装置原理

3.利用分野

依   頼

 定性分析・電子線マイクロアナライザーによるもの

貸   付

 

研   究

 表面、断面の元素分布の観察による材料評価


spacerページ先頭へ戻る
当ページに掲載の記事・写真の無断転載を禁じます。 | ©2007 Nagano Prefecture General Indistrial Technology Center. All Rights Reserved.