走査型プローブ顕微鏡


1.名 称  走査型プローブ顕微鏡

製造会社名 

 日本電子(株)

走査型プローブ顕微鏡概観

型   式

 JSPM4200

所   属

 電子部

設置場所

 超精密技術開発支援室

備   考 

 平成10年度地域産業集積活性化事業にて導入。

2.概 要

機   能

 無機物、有機物、生物等の試料を、大気中、真空中、液中において試料表面の凸凹形状を接触あるいは低ダメージで観察することができる。また、試料の表面形状の他、摩擦・粘弾性・磁気・表面電位等の様々な情報も画像化することができる。

仕   様

 試料サイズ  50mmφ×3mm
 分解能    原子分解能
 試料温度制御 -120〜+800℃

原   理

 原子間力顕微鏡(AFM:Atomic Force Microscope)の原理
 走査型プローブ顕微鏡の測定機能の中で、もっともよく利用されるのが表面形状観察をする原子間力顕微鏡です。プローブ(探針)を試料に数nm以下に近づけ時、プローブの先端の原子と試料の原子との間に原子間力が働きます。この力が一定になるように制御しながら試料を走査し、表面形状を得ます。

走査型プローブ顕微鏡原理

3.利用分野

依   頼

 機器分析・走査型原子間力顕微鏡によるもの

貸   付

 走査型プローブ顕微鏡

研   究

 電極材料等の評価、腐食のその場観察、微細加工による電子デバイスの開発


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