走査型レーザ顕微鏡


1.名 称  走査型レーザ顕微鏡

製造会社名 

 オリンパス光学工業(株)

走査型レーザ顕微鏡概観

型   式

 OLS2000

所   属

 電子部

設置場所

 超精密技術開発支援室

備   考 

 平成10年度地域産業集積活性化事業にて導入。

2.概 要

機   能

 走査型レーザ顕微鏡は、光学顕微鏡に比べて、コントラストの良い画像が、試料全面に焦点のあった状態で観察できます。また、試料に温度を加えた状態での観察も可能です。さらに、試料表面の輝度情報に加えて高さ情報が得られるので、幅・高さ等の測定もできます。

仕   様

・光源          アルゴンレーザ
・視野(レーザ走査範囲) 2.56mm×1.92mm〜14.7μm×11μm
・観察ステージ可動範囲  X155mm、Y155mm、Z10mm
            (Z方向はステージブロック交換により最大100mm)
・観察温度範囲      最大1500℃(試料サイズ直径5mm以下)

原   理

 走査型レーザ顕微鏡は、共焦点光学系を用いています。共焦点光学系は、レーザ光を試料面に照射し、反射光をピンポールを通して検出器に集光します。焦点の合っている場所からの反射光の大部分はピンホールを通過しますが、焦点のあっていな\い場所からの反射光は、ピンホールの部分で広がってしまうため、ピンホールを通過する光量が激減します。このため、焦点が合った部分だけの画像を得ることができます。

走査型レーザ顕微鏡原理1

さらに、試料をZ軸方向に移動させ、映像の各画素で最大輝度信号を記憶すると、試料全面に焦点のあった画像が得られます。

走査型レーザ顕微鏡原理2

 また、走査ラインの各画素において、焦点の合うZ軸の高さ情報を記憶することにより、表面形状を測定できます。
 また、ピンホールにより不要散乱光を大幅に取り除けるため、コントラストの高い画像が得られます。

3.利用分野

依   頼

 材料組織試験・走査型レーザ顕微鏡によるもの(常温観察、高温観察)

貸   付

 走査型レーザ顕微鏡(常温観察、高温観察)

研   究

 電子部品・精密機械部品等の表面形状の評価 


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