三次元表面構造解析装置


1.名 称  三次元表面構造解析装置

製造会社名 

 Zygo社

三次元表面構造解析装置概観

型   式

 NewView 200CHR

所   属

 測定部

設置場所

 形状測定研究室

備   考 

 平成10年度地域産業集積活性化事業にて導入。

2.概 要

機   能

 光の干渉現象を利用して、0.1nmの垂直分解能で、微細な形状の非接触測定がおこなえます。垂直方向拡張走査機能により、最大5mmの段差の測定がおこなえます。また、Stiching機能(データのつなぎ合わせ)により最大143mm□の面まで測定できます。

仕   様

 垂直方向分解能  0.1nm
 最大垂直測定段差 100μm(拡張走査機能使用時 最大5mm)
 最大測定視野   5.64×4.22mm(Stiching機能使用時 最大143mm□)

原   理

 合焦点位置において、最大の干渉強度を得られる光学系を用い、Z方向に走査しながら、各高さにおける合焦点位置(等高線に相当する)のデータを取り込み、最後に全ての高さのデータを合成することにより、三次元形状の測定をおこないます。

三次元表面構造解析装置原理

3.利用分野

依   頼

 表面粗さ測定試験・非接触三次元表面測定装置によるもの

貸   付

 

研   究

 三次元微細構造体の形状評価、軟質材の表面粗さ測定


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