高分解能加工状態センシング装置


1.名 称  高分解能加工状態センシング装置

製造会社名 

 ヒューレットパッカード社

高分解能加工状態センシング装置概観

型   式

 SA-1437A

所   属

 加工部

設置場所

 企業開放試作試験室

備   考 

 平成10年度地域産業集積活性化事業にて導入。

2.概 要

機   能

 工作機械の状態を、歪み、振動、温度、超音波などさまざまなセンサを用いて解析する。微細加工におけるセンサ信号は極めて微弱であるため、非常に高い分解能を有するとともに、コンピュータにより高度な信号解析を行う。

仕   様

(1)垂直分解能    24bit
(2)サンプリング速度 2ギガサンプル/秒

原   理

(1)センサ 加工によって工作機械に生じるわずかな変化を、様々なセンサで検出する。
 歪みセンサ  温度変化や加工力による工作機械の変形
 温度センサ  加工による発熱状態
 振動センサ  主軸の回転状態や外部からの振動
 超音波センサ 加工にともなう材料の破壊の状態
 その他    主軸の回転数、消費電力、音響など

(2)デジタイザ センサからの信号をコンピュータで処理できるようにデジタル化する。
 高分解能デジタイザ センサからの微少な信号を1/16,000,000の分解能でデジタル化する。
 高速デジタイザ   超音波信号などの高速な信号をデジタル化する。
 8チャネル同時記録 たとえば、XYZ方向に固定した振動センサで、3次元的な振動を記録。

(3)信号処理 デジタル化された信号をコンピュータで処理して有意な情報を取り出す
 周波数解析 複雑な信号を周波数ごとの強度に変換する
 実時間解析 時間とともに不規則に変化する信号の解析
 その他   ウエーブレット解析、デジタルフィルタ、グラフ化、等

(4)ハードウエア試作機能 特殊なセンサの増幅回路や処理回路の試作
  電子回路CAD   回路の設計、シミュレーション、基板パターンの作成
  回路基板試作装置 基板の銅箔部分を削り取ることで配線パターンを生成する

3.利用分野

依   頼

 

貸   付

 

研   究

 微細加工の高度化および高精度化、企業との共同研究


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