地域産業集積活性化事業にて設置した機器


平成15年度 設置機器

機 器 名
メーカー名・型式

主な仕様

ICPドライエッチング装置*
住友精密工業(株)SUMITOMOMUC21RDモデル

機械的・電気的機能を持った微細な機能素子(MEMS)のミクロンオーダのエッチング(除去加工)
シリコンエッチング性能  エッチング速度:2μm/分以上 アスペクト比(加工穴縦横比):10以上

平成14年度 設置機器

機 器 名
メーカー名・型式

主な仕様

高周波コンポーネント開発支援装置*
 アジレント・テクノロジー(株) 8510XF

マイクロ波・ミリ波用電子部品や材料の、高周波信号伝送特性、電波の吸収・反射などの評価
・周波数範囲  45MHz〜110GHz、同軸コネクタによる連続スイープ、タイムドメイン解析

電子デバイス強度解析装置*
 インストロン社 4443型

高周波向け小型電子デバイスや材料等の機械的強度の解析
・荷重測定範囲 0〜500N、試験温度範囲 -50℃〜250℃

 平成13年度 設置機器

機 器 名
メーカー名・型式

主な仕様

磁化特性解析装置*
 電子磁気工業(株) BH-5501

直流磁化特性測定部 最大測定磁界 2.5T(テスラ)、特性演算
交流磁化特性測定部 周波数範囲10Hz〜10MHz、特性演算
磁性材料シミュレーション部 磁場解析

複合サイクルテストシステム
 スガ試験機(株) CCT-ECS

サイクル試験槽 塩水噴霧、乾燥、湿潤の任意のサイクル試験
ガス腐食試験槽 H2S、SO2、NO2、Cl2の各種ガス及びこれらの混合ガス腐食試験
耐候性試験槽 キセノンアークランプ式によるウエザー試験
※ガス腐食試験は、現在、試験依頼の受付を行っておりません

EMIレシーバ*
 ローデ&シュワルツ(独) ESCS30 
  

周波数範囲 9kHz〜2.75GHz
測定精度 ±1dB
規格に準拠した測定
スペクトラム分析

 平成12年度 設置機器

機 器 名
メーカー名・型式

主な仕様

高精度長さ標準校正装置
 (株)ミツトヨ GBI(特別仕様)

最大測定長 250mm
測定精度 0.04μm
連続測定個数 12個

レーザーアブレーション質量分析装置
 セイコーインスツルメンツ(株)        
  SPQ9200/LSX200システム

Nd:YAGパルスレーザー、波長 266nm
最大1.6kW高周波プラズマイオン源
質量範囲 3〜260amu、四重極質量分析計
Li〜Uの極微量元素分析

環境試験装置
 タバイエスペック(株)
  PSL-4KPH/IPPH-201特殊型

集中監視システムによる監視機構
-70℃〜150℃、20%〜98%RH、800L
室温〜500℃、O2濃度100ppm以下(<300℃)、260L 

 平成11年度 設置機器

機 器 名
メーカー名・型式

主な仕様

超精密複合マイクロ加工機
 ファナック(株) ROBOnano Ui

同時制御軸数 5軸(X,Y,Z,B,C軸)
最大加工寸法 100×100×10mm
分解能 1nm

衝撃試験機
 エア・ブラウン(株) SM-110-MP

最大加速度 1500G
衝撃波形 正弦波、のこぎり波

超微小硬度測定装置
 (株)エリオニクス ENT-1100a

荷重範囲 0.098〜980mN
最大押し込み量 20μm
最大試料サイズ φ50×5mm

立体機能形状物形成装置*
 日本テクノ(株) スーパーコントロールB型  

超振動攪拌、ミクロ爆気、揺動、加振機構
試料寸法 100mm角まで
溶液分析・めっき厚測定機能付属

単結晶焼成炉
 (株)クリスタルシステム FZ-T-10000-H

浮遊帯域融解方式、ハロゲンランプ4灯
最高温度2,150℃
単結晶サイズ 径10mm×長さ100mm

極表面複合分析装置
 VG Scientific社 ESCALAB 250

分析項目 XPS,ISS,AES,SEM,REELS
XPS面分解能 20μm(スペクトルスコピー)
          3μm(イメージング)
分析ステージ可動範囲 最大50×20×20mm

高感度有機物分析装置
 ニコレー社
  Nexus670 Continuμmシステム

測定波数範囲 25000〜50cm-1
最高分解能 0.09cm-1
スキャン速度 50回/秒(高速スキャン時)
顕微・ATR・PAS・加熱冷却他各種測定可能

 平成10年度 設置機器

機 器 名
メーカー名・型式

主な仕様

三次元表面構造解析装置
 ザイゴ社 NewView200CHR

走査型白色干渉計 縦分解能 0.1nm
最大垂直測定段差 5mm
最大測定視野  143mm□

超音波顕微鏡(廃棄済み)
 日立建機(株) HSAM220

超音波探触子分解能 6μm
位置精度 0.5μm
受信周波数帯域 1〜300MHz
パルス波発信及びバースト波発信

走査型レーザ顕微鏡*
 オリンパス光学工業(株) OLS-2000

上下方向分解能 10nm
アルゴンレーザ
観察温度 最高 1500℃

走査型プローブ顕微鏡*
 日本電子(株) JSPM-4200

AFM、STM機能
分解能 原子分解能
走査範囲  XY : 10μm Z : 3μm
        XY : 80μm Z : 5μm
試料温度制御 -120〜+800℃

微小部品熱接合装置(廃棄済み)
 千住金属工業(株) SX-1506N2

窒素雰囲気中の熱風・赤外線併用加熱
加熱領域3段階

極微小領域解析装置
 日本電子(株) JXA-8800R

波長分散型、同時分析元素数 5
最大試料寸法 100x100x50mm
分析可能試料段差 7mm
自動定性・定量分析

熱特性評価装置*
 日本アビオニクス(株) TVS-8200II

温度分解能 0.1℃以内
空間分解能 100μm
電子部品レイアウト、回路設計機能、三次元熱流体解析
熱伝導解析、熱応力・変位解析

電界磁界解析装置*
 アンソフトジャパン(株)
  Maxwell 3D Field Simulator

3次元電界・磁界解析
静磁場・動磁場解析
物体の変位・運動解析
インピーダンス測定
磁界可視化機能

環境ノイズ評価装置*
 (株)NF回路設計ブロック
  8461

試験電源、発信増幅型
単相 4kVA 3相 12kVA
電源変動試験及び高調波試験
フリッカ測定
伝導性イミュニティ試験

精密電気標準測定装置
 Guildline社 9700PL

測定範囲 0.15〜1500V
測定精度 ±5ppm
安定度 5ppm/年

 * 来場して使用できます。

spacerページ先頭へ戻る
当ページに掲載の記事・写真の無断転載を禁じます。 | ©2007 Nagano Prefecture General Indistrial Technology Center. All Rights Reserved.