精密・電子技術部門の保有設備



 設備名 : スピンナ
 
メーカ型式
アクテスASC−4000

仕様内容
回転数:0〜6000rpm
プログラム数:9
プログラムステップ:99
レジストなどの基板へのスピンコート

導入年度利用料担当部門担当部用途備考予約状況
2003400 円/時間精密 設備利用 研究・相談 試作・加工
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