精密・電子技術部門の保有設備



 設備名 : 紫外線レーザ装置
 
メーカ型式
ラムダフィジックス社 エキシテック社 城南工業(株)Comex205 PS-2000 特注

仕様内容
KrFエキシマレーザーアブレーション
ターゲット形状:20mm
基板サイズ:20mm角
アトムイオンソース付属
レーザアブレーション薄膜形成

導入年度利用料担当部門担当部用途備考予約状況
20013600 円/時間精密 設備利用 研究・相談 試作・加工 地域産業集積活性化対策事業補助金
紫外線レーザ装置 の一部として導入
----

  • 注1) 来場してご利用いただける機器のみ利用料を表示しています。
  • 注2) 利用希望が多い設備は予約状況を表示します。
       予約状況欄の”表示”をクリックして下さい。



spacerページ先頭へ戻る
当ページに掲載の記事・写真の無断転載を禁じます。 | ©2007 Nagano Prefecture General Indistrial Technology Center. All Rights Reserved.