精密・電子技術部門の保有設備



 設備名 : エリプソメータ
 
メーカ型式
日本分光工業(株)MEL-30S

仕様内容
光源:He-Neレーザ/Xeランプ薄膜の膜厚・屈折率の測定

導入年度利用料担当部門担当部用途備考予約状況
19921400 円/時間精密 依頼試験 設備利用 研究・相談
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