精密・電子技術部門の保有設備



 設備名 : 高真空蒸着装置
 
メーカ型式
神港精機(株)AMF-C850SPB

仕様内容
電子ビーム加熱方式(トリプルソース)
抵抗加熱方式, イオン化機構
薄膜の形成

導入年度利用料担当部門担当部用途備考予約状況
19894400 円/時間精密 設備利用 研究・相談
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