精密・電子技術部門の保有設備



 設備名 : 膜厚測定装置     詳細ページへ
 
メーカ型式
(株)アルバックDektak 8型

仕様内容
触針式
触針圧:1〜15mg
段差測定再現性:10Å(1σ)以下
多点自動測定、三次元表示可能
薄膜の膜厚測定

導入年度利用料担当部門担当部用途備考予約状況
20062000 円/時間精密加工設備利用 研究・相談 日本自転車振興会補助金
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  • 注1) 来場してご利用いただける機器のみ利用料を表示しています。
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