精密・電子技術部門の保有設備



 設備名 : 超精密複合マイクロ加工機     詳細ページへ
 
メーカ型式
ファナック(株)ROBOnano Ui

仕様内容
5軸(X,Y,Z,B,C軸)
最大加工寸法:100×100×10mm
分解能1nm
ナノメートルオーダーの分解能で加工する

導入年度利用料担当部門担当部用途備考予約状況
1999
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精密 研究・相談 地域産業集積活性化対策事業補助金
超精密複合マイクロ加工機 の一部として導入
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