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 設備名 : 高精度非接触輪郭形状測定機(本体部)     詳細ページへ
 
メーカ型式
三鷹光器(株)NH-3SP

仕様内容
測定範囲:X150×Y150×Z130mm
測定分解能:X0.01、Y0.01、Z0.001μm
測定項目:断面/輪郭形状、表面粗さ、歯車形状、非球面レンズ形状、三次元表面粗さ等
レーザ光を用いた非接触形状測定器
150mm×150mm の測定範囲を100 万分の1 ミリメートルの分解能で、測定可能。
高速測定モードで従来より速く測定可能(スキャンAF 機能搭載)。
回転ステージにより、非球面レンズなどの傾斜角度が大きな形状の測定や、歯車などの部品の360度全周にわたる輪郭形状の測定が可能。
非接触で測定できるため、変形しやすい薄板等の板厚・形状測定、非球面レンズや各種光学素子の形状測定・表面粗さ測定などが可能。

導入年度利用料担当部門担当部用途備考予約状況
20103500 円/時間精密測定依頼試験 設備利用 研究・相談
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