保有設備 詳細表示


 設備名 : マイクロ波プラズマCVD装置
 
メーカ型式
日本高周波(株)MPT-1000

仕様内容
マイクロ波電力:1kW
ダイヤモンド薄膜等の形成

導入年度利用料担当部門担当部用途備考予約状況
1993
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精密加工設備利用 研究・相談
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