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保有設備 詳細表示
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仕様 | 内容 |
触針式 触針圧:1〜15mg 段差測定再現性:10Å(1σ)以下 多点自動測定、三次元表示可能 | 薄膜の膜厚測定 |
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導入年度 | 利用料 | 担当部門 | 担当部 | 用途 | 備考 | 予約状況 |
2006 | 2000 円/時間 | 精密 | 加工 | 設備利用 研究・相談
| 日本自転車振興会補助金 | ---- |
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