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 設備名 : 電子線マイクロアナライザ
 
メーカ型式
日本電子(株)JXG-88R

仕様内容
検出元素:Be〜U
SEI分解能:5nm
CL分光:300〜900nm
試料表面、微細試料の元素分析

導入年度利用料担当部門担当部用途備考予約状況
1999
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材料金属材料依頼試験 研究・相談 地域産業集積活性化対策事業補助金
電子線照射型画像解析装置 の一部として導入
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